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本发明提出一种MicroLED的巨量转移方法,包括以下步骤;S1、按上下沿非对称的MicroLED的俯视向形状,选用对应的装载模具,所述模具的装载面处密集布设用于嵌入MicroLED的装载槽;装载槽的俯视向形状与MicroLED的俯视向形状匹配;S2、固定装载模具,在装载模具处连接震荡源,在装载模具侧设置吹风装置;把MicroLED批量倾倒在装载面上;S3、启动震荡源和吹风装置;使MicroLED在震荡力或风力作用下落入装载槽;S4、以风力将装载面处未落入装载槽的MicroLED吹出装载面;所述转移方法在步骤S4后,还依次包括以下步骤;S5、以光检器件或红外检测器件对装载面进行检测,判断未嵌入MicroLED的装载槽位置;S6、以机械手向空置的装载槽内填入MicroLED;本发明工艺简单,良率高,成本低。
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Type: 发明授权
Patent No.: CN201711162098.0
Filing Date: 2017/11/21
Publication Date: 2019/7/12
Pub. No.: CN107910413B
公开国别: CN
Applicants: 福州大学
Legal Status: 授权
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