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通过反应溅射,以硅基片(表面上有白金加热电极)为基底制作H2S薄膜气敏元件.实验表明,纳米SnO2对H2S具有较高的敏感度,对干扰气体的选择性较好.性能测试表明,元件的特性与敏感材料的厚度、溅射气压等工艺参数有关系,但敏感材料的厚度对元件的特性起着决定性的作用,气敏薄膜有一个最佳厚度范围.通过X射线衍射仪进行材料的微观分析,表明SnO2的平均粒径大小为8.5 nm.
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福州大学学报(自然科学版)
ISSN： 1000-2243
CN： 35-1337/N
Year： 2003
Issue： 4
Volume： 31
Page： 425-429
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