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基于斩波技术和开关电容结构,研究并设计一款用于MEMS压力传感器的低噪声、高精度读出芯片.在经典三运放结构的基础上增加了斩波开关,并在传统自调零结构上进行改进,引入一种开关电容滤波器,实现对失调电压的消除.采用SMIC 0.18 μm CMOS工艺,对所设计的电路进行仿真验证.仿真结果表明,在不同增益情况下,输出端的增益误差均小于0.1％;在0 ～650Hz范围内,等效输入噪声小于600nV,满足MEMS压力传感器输出信号的分辨率的要求.
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中国集成电路
ISSN： 1681-5289
CN： 11-5209/TN
Year： 2017
Issue： 8
Volume： 26
Page： 42-45,48
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