Abstract：
结合扩散硅压阻式压力传感器的研制．根据硅的压阻效应原理，利用方形硅膜的应力分 布公式，论述了提高正方形硅膜压阻式压力传感器灵敏度的几个重要措施．
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福州大学学报(自然科学版)
ISSN： 1000-2243
CN： 35-1337/N
Year： 1992
Issue： 03
Page： 28-31
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