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[期刊论文]

晶圆级Micro-LED芯片检测技术研究进展

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author:

苏昊 (苏昊.) [1] | 李文豪 (李文豪.) [2] | 李俊龙 (李俊龙.) [3] | Unfold

Indexed by:

PKU CSCD

Abstract:

随着微型氮化镓(GaN)发光二极管(LED)制造工艺的不断进步,Micro-LED显示有望成为新一代显示技术并在近眼显示、大尺寸高清显示器件、柔性屏幕等领域大放异彩。在Micro-LED显示众多技术环节中,晶圆级Micro-LED芯片的检测是实现坏点拦截,提升显示屏良品率、降低整机制造成本的关键环节。针对大数量(百万数量级)、小尺寸(<50μm)的晶圆级Micro-LED芯片阵列,现有的电学检测手段存在检测效率低、成本高等缺点。因此,提高检测效率、提升检测准确度、降低检测成本是晶圆级Micro-LED检测技术的发展趋势。本文首先介绍了晶圆级Micro-LED芯片检测时所需要检测的几个指标,其次详细介绍并分析了现有的或已经提出的检测手段,最后对晶圆级Micro-LED芯片检测技术进行总结并展望了未来技术发展方向。

Keyword:

Micro-LED 接触型检测 无接触检测 缺陷检测

Community:

  • [ 1 ] 福州大学物理与信息工程学院
  • [ 2 ] 福建江夏学院电子信息科学学院
  • [ 3 ] 中国福建光电信息科学与技术创新实验室

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Source :

液晶与显示

Year: 2023

Issue: 05

Volume: 38

Page: 582-594

Cited Count:

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30 Days PV: 1

Affiliated Colleges:

Online/Total:181/10202784
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