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采用0.18μm CMOS工艺,设计了一种基于VCO量化的电容式MEMS加速度计接口电路。电路基于VCO实现量化,可直接输出数字信号,克服了传统模拟力反馈的非线性问题,且不需要ADC或额外的比较器电路,大大降低了电路的复杂性。仿真结果表明,该接口电路系统噪声基底为18μg·Hz^-1/2,最大非线性误差为0.57%,电路功耗为6.7 mW,输入带宽和检测范围分别为2.5 kHz和±1.0 g。该接口电路达到较好的性能。
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微电子学
ISSN： 1004-3365
Year： 2020
Issue： 3
Volume： 50
Page： 357-360
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