Indexed by：
Abstract：
采用0.18 μm CMOS工艺,设计了一种基于VCO量化的电容式MEMS加速度计接口电路.电路基于VCO实现量化,可直接输出数字信号,克服了传统模拟力反馈的非线性问题,且不需要ADC或额外的比较器电路,大大降低了电路的复杂性.仿真结果表明,该接口电路系统噪声基底为18 μg·Hz-1/2,最大非线性误差为0.57％,电路功耗为6.7 mW,输入带宽和检测范围分别为2.5 kHz和±1.0g.该接口电路达到较好的性能.
Keyword：
Reprint 's Address：
Email：
Version：
Source ：
微电子学
ISSN： 1004-3365
CN： 50-1090/TN
Year： 2020
Issue： 3
Volume： 50
Page： 357-360
Cited Count：
WoS CC Cited Count： 0
SCOPUS Cited Count：
ESI Highly Cited Papers on the List： 0 Unfold All
WanFang Cited Count： -1
Chinese Cited Count：
30 Days PV： 0
Affiliated Colleges：
