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本文介绍了四边形电极结构,四边形电极改进结构和带电阻边框的方框形电极结构3种二维位敏器件(PSD)的结构和工作原理,导出了3种结构PSD的输出电流理论表达式和位置线性度网络图.结果表明:四边形电极结构PSD的位置偏差最大,中央60%光敏区域内最大位置误差约10.0%,与实验结果相符 ;四边形电极改进结构PSD在中央60%光敏区域内最大位置误差约5.0%;带电阻边框的方框形电极结构,当边框电阻很小时,位置信号与输出电流之间满足线性关系,实验测得中央79 %光敏区域内的均方根位置误差小于0.3%.
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光电子·激光
ISSN： 1005-0086
CN： 12-1182/O4
Year： 2001
Issue： 8
Volume： 12
Page： 795-798
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