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本文介绍了四边形电极结构 ,四边形电极改进结构和带电阻边框的方框形电极结构 3种二维位敏器件 (PSD)的结构和工作原理 ,导出了 3种结构 PSD的输出电流理论表达式和位置线性度网络图。结果表明 :四边形电极结构 PSD的位置偏差最大 ,中央 6 0 %光敏区域内最大位置误差约 10 .0 % ,与实验结果相符 ;四边形电极改进结构 PSD在中央 6 0 %光敏区域内最大位置误差约 5 .0 % ;带电阻边框的方框形电极结构 ,当边框电阻很小时 ,位置信号与输出电流之间满足线性关系 ,实验测得中央 79%光敏区域内的均方根位置误差小于 0 .3%
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Source ：
光电子·激光
Year： 2001
Issue： 08
Page： 795-798
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