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本实用新型涉及一种基于光学干涉的自润滑轴承涂层厚度检测装置，该装置包括：钨卤素灯光源模块，用于发射光束；第一凸透镜，用于将钨卤素灯光源模块的发射光准直为平行光束；迈克尔逊干涉仪模块，用于将光束分束为强度相等的两束光，作为参考光、探测光分别汇聚于参考镜、待测轴承涂层表面，反射后重合发生干涉，形成干涉光束；以及二维光谱仪模块，包括反射镜、反射式光栅、柱透镜和面阵CCD相机，干涉光束经反射镜传播至反射式光栅，并按波长在空间分光后由柱透镜汇聚成干涉谱线，由面阵CCD相机采集获得二维干涉光谱条纹。该装置有利于获取自润滑轴承涂层厚度的二维干涉条纹图像，进而实现对自润滑轴承涂层厚度进行非接触无损检测。
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Type： 实用新型
Patent No.： CN202221788563.8
Filing Date： 2022-07-12 00:00:00
Publication Date： 2023-04-21 00:00:00
Pub. No.： CN218895750U
公开国别： 中国
Applicants： 福建龙溪轴承(集团)股份有限公司;;福州大学
Legal Status： 授权
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