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采用IBS法在锡青铜衬底上溅射沉积Sm-Fe非晶态超磁致伸缩薄膜,研究衬底的表面状态和薄膜热处理对Sm-Fe薄膜磁致伸缩性能的影响。实验结果表明,锡青铜衬底状态对Sm-Fe超磁致伸缩薄膜磁伸性能有很大影响。样品经过200℃真空热处理后,100mT内dλ/dH值从制备态Sm-Fe薄膜的0.71×10^-3T^-1提高到2.48×10.3T^-1,薄膜低场磁敏性得到显著提高。
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福建工程学院学报
ISSN： 1672-4348
Year： 2007
Issue： 1
Volume： 5
Page： 39-41
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