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详细分析了P47型原子力显微镜线宽测量不确定度的来源,给出了基于几何形状的线宽测量模型,提出了线宽测量不确定度的评定路线和方法。确定了探针针尖引起的测量不确定度是AFM线宽测量不确定度的主要来源,并对其进行了定量分析。普通Si3N4探针针尖引起的不确定度分量约占线宽总量的5%。
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计量学报
ISSN： 1000-1158
CN： 11-1864/TB
Year： 2012
Issue： 6
Volume： 33
Page： 486-489
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