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author:

任志英 (任志英.) [1] | 高诚辉 (高诚辉.) [2] | 罗德海 (罗德海.) [3] | 林有希 (林有希.) [4] | 张世忠 (张世忠.) [5]

Indexed by:

CQVIP PKU CSCD

Abstract:

针对目前表面微观形貌面形误差分离方法中存在边界畸变及自适应差等缺点,提出了将具有自适应时频分辨能力的二维经验模态分解算法(bidimensional empirical mode decomposition,BEMD)应用于三维工程表面面型误差分离中,同时用Riesz变换构造单演信号,计算信号整体的频率特征,完成对二维经验模态分解算法的终止准则的改进,使其能严格按照ISO4287所规定的截止波长分离三维表面各频段形貌误差。仿真结果表明,本文新方法相比于国标ISO中高斯滤波以及常用小波滤波,在分离三维工程粗糙表面各面型误差时,所得分离图形效果远优于传统方法所得,且各频段误差对应的三维评定参数误差均小于5%。最后对光学镀膜元件实例进行分析,结果表明该算法能够很好地分离各形貌误差的的空间信息,所得参数评定基准面相对传统方法不存在边界畸变等问题,因此该方法在实际工程表面评定应用中具有可行性。

Keyword:

RIESZ变换 三维表面形貌 二维经验模态分解 终止准则 误差评定

Community:

  • [ 1 ] 福州大学机械工程及自动化学院,福州350108
  • [ 2 ] 福建省福光股份有限公司,福州350004

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Source :

光学精密工程

ISSN: 1004-924X

Year: 2017

Issue: 2

Volume: 25

Page: 425-432

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