Abstract：
利用低温空气等离子体反应溅射技术淀积ＳｎＯ_２薄膜，研究了ＳｎＯ_２薄膜气敏元件对几种 可燃性气体的气敏效应及其性能；通过掺杂提高了元件的选择性，并对反应溅射机理和气敏机理 作了一些探讨．
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福州大学学报(自然科学版)
ISSN： 1000-2243
CN： 35-1337/N
Year： 1992
Issue： 01
Page： 26-30
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