Abstract：
用磁控溅射法制成WO3 薄膜 ,通过改变成膜的溅射参数来改变WO3 薄膜的性能 .利用XRD分析了样品的粒径大小 ,研究了成膜工艺参数对气敏元件性能的影响 .结果表明 ,薄膜中WO3 晶粒的平均尺寸为 17nm ,该传感器对NOx 气体有非常好的灵敏度和选择性 ,对体积分数为 1× 10 - 5的NOx 气体灵敏度高于 5 0倍 ,而对其他干扰气体的灵敏度小于 2倍 .
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郑州轻工业学院学报
ISSN： 1004-1478
Year： 2002
Issue： 04
Page： 7-10
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