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室温下在HF水溶液中,利用阳极氧化法在纯钛表面制备了规则有序的TiO2纳米管阵列,应用场致发射扫描电子显微镜、X射线光电子能谱对纳米管阵列表面形貌、断面结构及元素组成进行表征,并对所得样片的场发射性能进行测试,研究了阳极氧化电压对TiO2纳米管阵列形貌及场发射性能的影响。结果表明:在一定范围内增大氧化电压,可增大纳米管的管径、壁厚和管长,但壁厚变化比较小。随着氧化电压的增大,开启场强先降低后增大。当氧化电压为10V时,所获得的TiO2纳米管阵列开启场强最低,为3.15 V/μm,在6 h内8 V/μm电场下保持了稳定的场发射,电流密度为0.85 mA/cm2。
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真空科学与技术学报
ISSN： 1672-7126
CN： 11-5177/TB
Year： 2013
Issue： 02
Volume： 33
Page： 141-145
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