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[期刊论文]
MIM结构薄膜应变栅的工艺研究
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阐述了采用直接沉积法制作MIM结构薄膜应变栅的工艺方法,对制备过程中所遇到的难点进行了分析并提出相应的解决方法,对所制作的薄膜应变栅式称重传感器进行了性能测试.
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Version：
2000，电子工艺技术
Translated Title
Technology Research of MIM Structure Film Strain Grid
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Classification
TB43
Type
Project Name
Project No.
Access Number
WF:perioarticaldzgyjs200005012
Language
Chinese
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1998，福州大学学报(自然科学版)
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1998，测控技术
2000，电子元件与材料
Source ：
电子工艺技术
ISSN： 1001-3474
CN： 14-1136/TN
Year： 2000
Issue： 5
Volume： 21
Page： 222-224
Cited Count：
WoS CC Cited Count：
SCOPUS Cited Count：
ESI Highly Cited Papers on the List： 0 Unfold All
WanFang Cited Count：
Chinese Cited Count：
30 Days PV： 3
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