Abstract：
阐述了采用直接沉积法制作MIM结构薄膜应变栅的工艺方法,对制备过程中所遇到的难点进行了分析并提出相应的解决方法,对所制作的薄膜应变栅式称重传感器进行了性能测试.
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电子工艺技术
ISSN： 1001-3474
CN： 14-1136/TN
Year： 2000
Issue： 5
Volume： 21
Page： 222-224
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