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运用薄膜技术在镍基弹性体上制备金属-绝缘层-金属(MIM)结构的薄膜应变栅,测试了应变栅在200～300℃的高温区内的稳定性,并分析了应变栅薄膜的结构、薄膜的应力以及热处理工艺等因素对力敏薄膜在高温下的稳定性的影响.
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电子元件与材料
ISSN： 1001-2028
CN： 51-1241/TN
Year： 2000
Issue： 5
Volume： 19
Page： 3-4
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