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[期刊论文]

晶体生长控制中的高精度控温系统

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author：

杨琦 (杨琦.) [1] | 杨小玲 (杨小玲.) [2] (Scholars：杨小玲)

Indexed by：

CQVIP

Abstract：

介绍晶体生长控温系统的组成,微弱温差信号的接口调理方法及智能控制器的分级控制方式.系统控温范围(25～75)℃,控温精度达0.01℃,分辨率0.001℃,投入使用多年来,工作稳定可靠.

Keyword：

信号调理 控温 晶体生长

Community：

  • [ 1 ] [杨琦]福州大学
  • [ 2 ] [杨小玲]福州大学

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Source ：

仪表技术

ISSN： 1006-2394

CN： 31-1266/TH

Year： 2005

Issue： 1

Page： 44-46

Cited Count：

WoS CC Cited Count：

30 Days PV： 2

Affiliated Colleges：

物理与信息工程学院、微电子学院 本学院/部未明确归属的数据

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Online/Total：33/10050420
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