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以三氧化钨为基材,通过掺杂制作了半导体型氯化氢气体传感器,研究元件的气敏特性.以钨酸钠和浓盐酸为反应物,采用溶胶一凝胶法,制备出具有特殊结构的三氧化钨.通过XRD、SEM、TEM等微观分析手段,发现该材料具有层片状结构,结构松散,平均粒径约17纳米.研究发现,掺杂适量的氧化铝可以大大提高三氧化钨对氯化氢气体的灵敏度,但元件稳定性以及选择性比较差,通过掺杂少量的氧化锌,虽然降低了元件的灵敏度,却可以大大提高元件的稳定性,适当提高加热电压,可抑制元件对NO2等气体的灵敏度,提高选择性.本文对三氧化钨的气敏机理及特性进行分析.
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功能材料与器件学报
ISSN： 1007-4252
CN： 31-1708/TB
Year： 2008
Issue： 1
Volume： 14
Page： 167-170
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