Abstract：
采用真空镀膜技术制备了TiO＜,2＞:MgF＜,2＞薄膜湿敏元件,仔细研究了薄膜湿敏元件的感湿特性.结果表明:工作频率为100Hz时,该元件在全湿度范围内具有良好的阻抗-湿度特性,感湿特性曲线线性良好;元件具有灵敏度高,滞后小,响应快,长期稳定性好等优点.
Keyword：
Reprint 's Address：
Email：
Source ：
Year： 2003
Page： 70-71
Language： Chinese
Cited Count：
SCOPUS Cited Count：
ESI Highly Cited Papers on the List： 0 Unfold All
WanFang Cited Count： -1
Chinese Cited Count：
30 Days PV： 2
Affiliated Colleges：
