Abstract：
采用真空镀膜技术制备了TiO2:MgF2薄膜湿敏元件,仔细研究了薄膜湿敏元件的感湿特性.结果表明:工作频率为100Hz时,该元件在全湿度范围内具有良好的阻抗-湿度特性,感湿特性曲线线性良好;元件具有灵敏度高,滞后小,响应快,长期稳定性好等优点.
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山东科技大学学报(自然科学版)
ISSN： 1672-3767
CN： 37-1357/N
Year： 2003
Issue： z1
Volume： 22
Page： 70-71
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