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学者姓名：李调阳
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氧化铟镓锌（IGZO）具有宽带隙、高迁移率、和CMOS后道工艺兼容等优势，可用于下一代高密度三维堆叠存储器。随着IGZO场效应晶体管的尺寸不断微缩，源漏接触电阻在开态时会主导器件总电阻。因此，IGZO场效应晶体管的接触电阻优化成为需要研究的一个关键问题。本文采用原子层沉积的IGZO作为沟道并制备出场效应晶体管，探究了接触金属种类及后退火工艺对IGZO场效应晶体管接触电阻的影响。结果表明，退火前镍和钛的接触电阻相当。但在Ar/O2氛围、250℃条件下退火2小时后，采用钛接触的IGZO场效应晶体管的接触电阻降低到镍接触的8.3%，实现接触电阻低至0.86 kΩ·μm，同时阈值电压正移实现了增强型器件。与此同时，制备出超短沟长（Lch=80 nm）的IGZO场效应晶体管，开态电流高达412.2μA/μm、亚阈值摆幅为88.6 m V/dec，漏致势垒降低系数低至0.02 V/V。这些结果表明，通过优化接触金属种类及后退火条件，可实现高性能IGZO场效应晶体管，并为IGZO大规模实际应用提供新思路。
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原子层沉积 原子层沉积 场效应晶体管 场效应晶体管 接触电阻 接触电阻 氧化铟镓锌 氧化铟镓锌
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| GB/T 7714 | 王昊哲 , 李调阳 . 基于原子层沉积IGZO场效应晶体管的接触电阻优化 [J]. | 中国集成电路 , 2024 , 33 (06) : 75-81 . |
| MLA | 王昊哲 等. "基于原子层沉积IGZO场效应晶体管的接触电阻优化" . | 中国集成电路 33 . 06 (2024) : 75-81 . |
| APA | 王昊哲 , 李调阳 . 基于原子层沉积IGZO场效应晶体管的接触电阻优化 . | 中国集成电路 , 2024 , 33 (06) , 75-81 . |
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Abstract ：
本发明公开了一种基于原子层沉积半导体沟道的凹槽型场效应晶体管生物传感器。利用原子层沉积技术优异台阶覆盖性和原子级膜厚精确控制的特点，在三维凹槽结构上依次沉积高k介质和氧化铟锡半导体，制备出三维凹槽结构场效应晶体管生物传感器。三维凹槽结构器件可克服德拜屏蔽效应的影响，实现比平面结构更大的德拜长度，可以在高离子强度溶液中检测出低浓度的疾病标志物，具有高灵敏度和快速检测的优势，在即时检测、体外诊断、生化分析等领域展现出广阔的应用前景。
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| GB/T 7714 | 李调阳 , 林本慧 , 王鸣巍 et al. 一种基于原子层沉积半导体沟道的凹槽型场效应晶体管生物传感器 : CN202210567840.0[P]. | 2022-05-24 00:00:00 . |
| MLA | 李调阳 et al. "一种基于原子层沉积半导体沟道的凹槽型场效应晶体管生物传感器" : CN202210567840.0. | 2022-05-24 00:00:00 . |
| APA | 李调阳 , 林本慧 , 王鸣巍 , 王博 . 一种基于原子层沉积半导体沟道的凹槽型场效应晶体管生物传感器 : CN202210567840.0. | 2022-05-24 00:00:00 . |
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Abstract ：
本发明公开了一种用氧化铟锡场效应晶体管检测蛋白质等电点的装置及使用方法。所述装置包括氧化铟锡场效应晶体管，所述氧化铟锡场效应晶体管从下至上依次设有衬底、高κ介质层、ITO沟道层，所述ITO沟道层的两端设有源漏电极，中部表面沉积有用于吸附蛋白质的金纳米粒子，所述源漏电极上设有绝缘层；所述氧化铟锡场效应晶体管的上部设有样品腔室，所述样品腔室的顶部设有若干个进样口和单个出样口。本发明反向利用这个“局限性”来测定蛋白质的等电点(pI)：通过连续改变测试溶液的酸碱度(pH)，当溶液pH与蛋白质的pI相等时，场效应晶体管的沟道电流(Ids)信号出现拐点。
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| GB/T 7714 | 李调阳 , 林本慧 , 王鸣巍 . 一种用氧化铟锡场效应晶体管测定蛋白质等电点的装置及使用方法 : CN202210567980.8[P]. | 2022-05-24 00:00:00 . |
| MLA | 李调阳 et al. "一种用氧化铟锡场效应晶体管测定蛋白质等电点的装置及使用方法" : CN202210567980.8. | 2022-05-24 00:00:00 . |
| APA | 李调阳 , 林本慧 , 王鸣巍 . 一种用氧化铟锡场效应晶体管测定蛋白质等电点的装置及使用方法 : CN202210567980.8. | 2022-05-24 00:00:00 . |
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Abstract ：
本发明提出一种检测尿液外观的传感器，所述传感器为光电检测器，以ITO FET作为光电检测元件；所述ITO FET为以透明薄膜封装的氧化铟锡场效应晶体管；ITO FET上固定有用于装载尿液样品的透明的样品池；当检测尿液外观时，以预设规格的光源照射样品池，ITO FET通过检测样品池处的透射光来对尿液样品进行定量检测；本发明可应用于尿液外观的快速、定量检测，无需专业人士操作，传感器结构简单，只需要紫外灯光源即可工作，无需专业人员操作。
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| GB/T 7714 | 李调阳 , 林本慧 . 一种检测尿液外观的传感器 : CN202111264225.4[P]. | 2021-10-28 00:00:00 . |
| MLA | 李调阳 et al. "一种检测尿液外观的传感器" : CN202111264225.4. | 2021-10-28 00:00:00 . |
| APA | 李调阳 , 林本慧 . 一种检测尿液外观的传感器 : CN202111264225.4. | 2021-10-28 00:00:00 . |
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Abstract ：
本发明公开了一种基于DNA纳米四合体的氧化铟锡场效应晶体管生物传感器及其应用。所述生物传感器包括发夹结构捕获探针DNA H1、发夹结构置换探针DNA H2、发夹结构DNA H3、发夹结构DNA H4、氧化铟锡场效应晶体管。该生物传感器结合生物素‑链霉亲和素新型生物反应放大系统的核酸杂交产物cHCR‑SANTs具有稳定的空间网状结构，且cHCR‑SANTs可向四周不断延伸而不仅是垂直于沟道表面，有效提高了徳拜长度内的核酸杂交效率，从而极大改变了沟道表面的电荷变化，实现超低浓度的目标核酸检测。
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| GB/T 7714 | 李调阳 , 林美雅 , 林本慧 et al. 一种基于DNA纳米四合体的氧化铟锡场效应晶体管生物传感器及其应用 : CN202111535972.7[P]. | 2021-12-16 00:00:00 . |
| MLA | 李调阳 et al. "一种基于DNA纳米四合体的氧化铟锡场效应晶体管生物传感器及其应用" : CN202111535972.7. | 2021-12-16 00:00:00 . |
| APA | 李调阳 , 林美雅 , 林本慧 , 王鸣巍 . 一种基于DNA纳米四合体的氧化铟锡场效应晶体管生物传感器及其应用 : CN202111535972.7. | 2021-12-16 00:00:00 . |
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Abstract ：
本发明公开了一种检测COVID‑19抗体的血糖生物传感器，其包括以下组件：新冠病毒COVID‑19抗原、新冠病毒COVID‑19抗体、修饰有发夹结构DNA片段H1‑DNA的新冠病毒COVID‑19二抗、触发DNA片段T‑DNA、酶标记的发夹结构DNA片段H2‑DNA和血糖生物传感器。该生物传感器构筑新冠病毒抗原‑COVID‑19 IgG/IgM‑(H1‑DNA‑H2‑DNA复合物)三明治结构；该三明治结构中H2‑DNA上标记的酶将糖类底物转化为葡萄糖；葡萄糖溶液滴加在血糖生物传感器上用血糖生物传感器检测葡萄糖的量，进而检测出COVID‑19 IgG/IgM的含量。
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| GB/T 7714 | 李调阳 , 林本慧 , 林美雅 . 一种检测COVID-19抗体的血糖生物传感器 : CN202111339185.5[P]. | 2021-11-12 00:00:00 . |
| MLA | 李调阳 et al. "一种检测COVID-19抗体的血糖生物传感器" : CN202111339185.5. | 2021-11-12 00:00:00 . |
| APA | 李调阳 , 林本慧 , 林美雅 . 一种检测COVID-19抗体的血糖生物传感器 : CN202111339185.5. | 2021-11-12 00:00:00 . |
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Abstract ：
本发明公开了一种用于快速、高灵敏和高通量检测有机磷及氨基甲酸酯类农药残留的装置，由若干个相互独立微流通道构成，每个微流通道分别设置有进样口A、进样口B、混匀器A、进样口C、混匀器B、检测区、出样口：其中进样口A和进样口B并联，且与混匀器A串联，混匀器A、进样口C、混匀器B、检测区和出样口依次相连；进样口A通入待测试样本，进样口B通入乙酰胆碱酶溶液，进样口C通入氯化乙酰胆碱溶液；检测区为ITO FET双氧水传感器。本发明的待测样本中的有机磷及氨基甲酸酯类杀虫剂与AChE在蛇形混元器中同时充分混合和孵育，节省混合与孵育时间；且采用AChE与ChOD双酶体系，避免使用需要低温保存的底物ATChCl。
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| GB/T 7714 | 李调阳 , 林本慧 , 王鸣巍 . 一种用于快速、高灵敏和高通量检测有机磷及氨基甲酸酯类农药残留的装置及其使用方法 : CN202111338410.3[P]. | 2021-11-12 00:00:00 . |
| MLA | 李调阳 et al. "一种用于快速、高灵敏和高通量检测有机磷及氨基甲酸酯类农药残留的装置及其使用方法" : CN202111338410.3. | 2021-11-12 00:00:00 . |
| APA | 李调阳 , 林本慧 , 王鸣巍 . 一种用于快速、高灵敏和高通量检测有机磷及氨基甲酸酯类农药残留的装置及其使用方法 : CN202111338410.3. | 2021-11-12 00:00:00 . |
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Abstract ：
由于AlGaN/GaN异质结界面自发极化和压电极化产生的二维电子气，使器件处于常开状态，需要施加额外的负栅极电压将其关断。而增强型p-GaN栅结构的肖特基栅漏电大，极大地限制了器件的工作电压范围。本文基于原子层刻蚀及原子层沉积技术，在硅基衬底上制备出凹槽栅增强型GaN MOS-HEMT功率器件，阈值电压为2.5 V，电流开关比>1010，衬底接地时击穿电压为760 V。基于Silvaco TCAD建立了电学输运模型，对器件的转移输出特性进行拟合，并提取模型参数。同时，基于器件-电路混合电路仿真器MixedMode建立双脉冲测试电路，首次评估了凹槽栅增强型GaN MOS-HEMT器件的开关特性。当负载电流为12 A时，器件的导通上升时间为1 ns，关断下降时间为1.6 ns，处于现有文献报道的最低值。这些结果表明，凹槽栅增强型GaN MOS-HEMT在功率器件领域具有广阔的应用前景。
Keyword ：
TCAD仿真 TCAD仿真 凹槽栅 凹槽栅 增强型 增强型 开关特性 开关特性 氮化镓 氮化镓
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| GB/T 7714 | 陈泽权 , 李调阳 . 凹槽栅增强型GaN功率器件的开关特性研究 [J]. | 中国集成电路 , 2023 , 32 (08) : 39-44,48 . |
| MLA | 陈泽权 et al. "凹槽栅增强型GaN功率器件的开关特性研究" . | 中国集成电路 32 . 08 (2023) : 39-44,48 . |
| APA | 陈泽权 , 李调阳 . 凹槽栅增强型GaN功率器件的开关特性研究 . | 中国集成电路 , 2023 , 32 (08) , 39-44,48 . |
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Abstract ：
本实用新型涉及一种用于无尘洁净室特气管道清洗和检漏的真空负压装置，包括连接管和负压真空泵，所述连接管一端与特气管道连接、另一端与负压真空泵的出去口连接，所述连接管上旁接有与其连通的排空管，所述排空管上设有排空球阀，所述连接管上设有截止球阀和真空压力表。本实用新型真空负压装置结构简单，操作方便，制造成本低，可用于特气管道的进行五项测试前的清洗、检漏预测试以及日常检修维护和清洗，填补了特气管道定期检修维护和清洗设备的空白。
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| GB/T 7714 | 李调阳 , 陈国圣 , 林本慧 . 一种用于无尘洁净室特气管道清洗和检漏的真空负压装置 : CN202122853548.9[P]. | 2021-11-22 . |
| MLA | 李调阳 et al. "一种用于无尘洁净室特气管道清洗和检漏的真空负压装置" : CN202122853548.9. | 2021-11-22 . |
| APA | 李调阳 , 陈国圣 , 林本慧 . 一种用于无尘洁净室特气管道清洗和检漏的真空负压装置 : CN202122853548.9. | 2021-11-22 . |
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