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学者姓名：林吉申
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利用MEMS技术,在硅平面上经过热氧化、掺杂、溅射、光刻、清洗等工艺,制成MOS结构的氨敏传感器,并将双加热器和测温器集成于一体.该传感器的栅极是以Pd栅为主,同时修饰多种金属薄膜.通过研究修饰催化金属薄膜的种类以及薄膜的厚度对传感器的灵敏度和选择性的影响,结果表明:采用多种金属薄膜混合修饰栅极表面的传感器对氨气有较好的选择性和稳定性;催化金属薄膜厚度在10～30nm时,该传感器对氨气最敏感.
Keyword ：
MEMS MEMS MOS结构 MOS结构 传感器 传感器 氨气 氨气
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| GB/T 7714 | 程树英 , 阮文农 , 王灵婕 et al. 催化金属薄膜对MOS结构MEMS氨敏传感器性能的影响 [J]. | 福州大学学报（自然科学版） , 2006 , 34 (2) : 203-205,211 . |
| MLA | 程树英 et al. "催化金属薄膜对MOS结构MEMS氨敏传感器性能的影响" . | 福州大学学报（自然科学版） 34 . 2 (2006) : 203-205,211 . |
| APA | 程树英 , 阮文农 , 王灵婕 , 林吉申 . 催化金属薄膜对MOS结构MEMS氨敏传感器性能的影响 . | 福州大学学报（自然科学版） , 2006 , 34 (2) , 203-205,211 . |
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Abstract ：
在集成电路中采用双镶嵌工艺制备互连线,铜作为互连线的材料具有低电阻率和较好的抗电迁移能力等优点,同时存在新的缺陷模式如沟槽缺陷、气泡缺陷、金属缺失等,目前的工作主要是该工艺的完善.
Keyword ：
互连线 互连线 铜 铜 集成电路 集成电路
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| GB/T 7714 | 王灵婕 , 林吉申 . 铜互连技术 [J]. | 鹭江职业大学学报 , 2005 , 13 (3) : 60-62 . |
| MLA | 王灵婕 et al. "铜互连技术" . | 鹭江职业大学学报 13 . 3 (2005) : 60-62 . |
| APA | 王灵婕 , 林吉申 . 铜互连技术 . | 鹭江职业大学学报 , 2005 , 13 (3) , 60-62 . |
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Abstract ：
以硅材料为基础的微机电系统MEMS被人们认为是21世纪革命性的新技术,是实现信息采集、处理、执行一体化,使之成为真正的系统.本文论述了MEMS的加工技术对材料提出的要求,以及近年来各种硅材料和功能材料在MEMS的应用和最新进展.
Keyword ：
MEMS MEMS 材料 材料 硅 硅
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| GB/T 7714 | 王灵婕 , 林吉申 . 功能材料在MEMS中的应用及进展 [J]. | 功能材料 , 2004 , 35 (z1) : 939-942 . |
| MLA | 王灵婕 et al. "功能材料在MEMS中的应用及进展" . | 功能材料 35 . z1 (2004) : 939-942 . |
| APA | 王灵婕 , 林吉申 . 功能材料在MEMS中的应用及进展 . | 功能材料 , 2004 , 35 (z1) , 939-942 . |
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Abstract ：
本文主要论述了新型MEMS氨气传感器的性能测试.研究氨气浓度、工作温度与阈值电压的变化关系、传感器的热稳定性和气体选择性能的测试,以及应用微处理器,采用人工自动校正法对测量系统进行校准.
Keyword ：
MEMS MEMS 传感器 传感器 氨气 氨气 测试 测试
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| GB/T 7714 | 王灵婕 , 陈盛 , 林吉申 . 新型MEMS氨气传感器的测试 [J]. | 测试技术学报 , 2004 , 18 (z3) : 19-21 . |
| MLA | 王灵婕 et al. "新型MEMS氨气传感器的测试" . | 测试技术学报 18 . z3 (2004) : 19-21 . |
| APA | 王灵婕 , 陈盛 , 林吉申 . 新型MEMS氨气传感器的测试 . | 测试技术学报 , 2004 , 18 (z3) , 19-21 . |
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Abstract ：
The paper discusses the test of the new type MEMS ammonia sensitive sensor. The sensor has a MOS structure. The sensitivity and stability of the sensor was studied. The paper focuses on the influence of the thin film decorated on the Me. The experimental results showed that the sensor has a good sensitivity and selectivity. that's because its gate is decorated by mixed metal thin film. And only when the thin film is between 10nm and 30nm. the sensor was most sensitive to NH3.
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| GB/T 7714 | Wang, LJ , Lin, JS . The Test of new type MEMS ammonia sensitive sensor [C] . 2004 : 543-546 . |
| MLA | Wang, LJ et al. "The Test of new type MEMS ammonia sensitive sensor" . (2004) : 543-546 . |
| APA | Wang, LJ , Lin, JS . The Test of new type MEMS ammonia sensitive sensor . (2004) : 543-546 . |
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Abstract ：
以硅材料为基础的微机电系统MEMS被人们认为是21世纪革命性的新技术,是实现信息采集、处理、执行一体化,使之成为真正的系统.本文论述了MEMS的加工技术对材料提出的要求,以及近年来各种硅材料和功能材料在MEMS的应用和最新进展.
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MEMS MEMS 材料 材料 硅 硅
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| GB/T 7714 | 王灵婕 , 林吉申 . 功能材料在MEMS中的应用及进展 [C] //第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅱ . 2004 : 939-942 . |
| MLA | 王灵婕 et al. "功能材料在MEMS中的应用及进展" 第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅱ . (2004) : 939-942 . |
| APA | 王灵婕 , 林吉申 . 功能材料在MEMS中的应用及进展 第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅱ . (2004) : 939-942 . |
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Abstract ：
本文主要论述了新型MEMS氨气传感器的性能测试.研究氨气浓度、工作温度与阈值电压的变化关系、传感器的热稳定性和气体选择性能的测试,以及应用微处理器,采用人工自动校正法对测量系统进行校准.
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传感器 传感器 微机电 微机电 气敏器件 气敏器件 氨气 氨气
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| GB/T 7714 | 王灵婕 , 陈盛 , 林吉申 . 新型MEMS氨气传感器的测试 [C] //测试技术学报2004Vol.18增刊 . 2004 : 19-21 . |
| MLA | 王灵婕 et al. "新型MEMS氨气传感器的测试" 测试技术学报2004Vol.18增刊 . (2004) : 19-21 . |
| APA | 王灵婕 , 陈盛 , 林吉申 . 新型MEMS氨气传感器的测试 测试技术学报2004Vol.18增刊 . (2004) : 19-21 . |
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Abstract ：
用半导体氧化物气敏传感器及微控制器89C51研制的手持式数显乙醇测试仪能对气体中的乙醇含量进行现场实时检测。该文从硬件、软件两方面介绍其优化电路和抗干扰技术。该仪器具有灵敏度高、选择性好、抗干扰能力强等特点 ,可用于交通安全检测、酒厂和食品工厂发酵监控。
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乙醇 乙醇 微处理器 微处理器 手持式 手持式 数字显示仪表 数字显示仪表 气敏传感器 气敏传感器
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| GB/T 7714 | 林吉申 , 黄文风 , 刘前炜 . 手持数显式乙醇测试仪的研制 [J]. | 分析测试学报 , 2000 , (02) : 61-63 . |
| MLA | 林吉申 et al. "手持数显式乙醇测试仪的研制" . | 分析测试学报 02 (2000) : 61-63 . |
| APA | 林吉申 , 黄文风 , 刘前炜 . 手持数显式乙醇测试仪的研制 . | 分析测试学报 , 2000 , (02) , 61-63 . |
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Abstract ：
介绍一种新型的乙醇测试仪的设计原理、实用电路及实验结果.该仪器具有体积小、灵敏度高、选择性好、稳定性高、响应时间短、手持、能方便地现场实时地检测气体中气态酒精浓度等特点.可用于交通安检及酒厂、食品工厂发酵的监测.
Keyword ：
手持式 手持式 检测 检测 酒精气体 酒精气体
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| GB/T 7714 | 林吉申 , 黄文风 , 武建珊 . 手持式乙醇测试仪的研制 [J]. | 传感器技术 , 2000 , 19 (2) : 41-43 . |
| MLA | 林吉申 et al. "手持式乙醇测试仪的研制" . | 传感器技术 19 . 2 (2000) : 41-43 . |
| APA | 林吉申 , 黄文风 , 武建珊 . 手持式乙醇测试仪的研制 . | 传感器技术 , 2000 , 19 (2) , 41-43 . |
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Abstract ：
应用89C51微控制器制作量测气体中乙醇浓度的手持式数字显示测试仪.介绍了软件设计中所采用的抗干扰、系统补偿、系统自检等技术,达到简化电路、提高仪器的灵敏度和可靠性的目的.
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乙醇 乙醇 微处理器 微处理器 测试仪 测试仪
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| GB/T 7714 | 林吉申 , 黄文风 , 刘前炜 . 微控制器在手持式乙醇测试仪中的应用 [J]. | 福州大学学报（自然科学版） , 2000 , 28 (2) : 20-23 . |
| MLA | 林吉申 et al. "微控制器在手持式乙醇测试仪中的应用" . | 福州大学学报（自然科学版） 28 . 2 (2000) : 20-23 . |
| APA | 林吉申 , 黄文风 , 刘前炜 . 微控制器在手持式乙醇测试仪中的应用 . | 福州大学学报（自然科学版） , 2000 , 28 (2) , 20-23 . |
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