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针对半导体制造车间产品重入机台时存在机台状态不一致，使得传统可重入调度方法难以适用的问题，根据半导体车间生产特性，提出了半导体车间多目标可重入混合流水车间调度问题，以最小化最大完工时间为基础，考虑以降低产品不合格率、减少机台工序切换次数为目标，建立此问题的多目标数学模型．提出基于实质不确定因子的最优觅食算法，采用灰色关联分析与MYCIN不确定因子的勾股模糊集的多目标处理策略，将帕累托(Pareto)解的实质不确定因子作为最优觅食算法的适应度值．编码采用基于工件号编码方案，解码通过三段式方法生成可行的调度解．通过仿真实验和半导体车间案例与其他三种算法对比，验证了所提出的模型，算法性能分析结果表明所提出的模型合理，算法具有明显优势．
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华中科技大学学报(自然科学版)
Year： 2023
Issue： 02
Volume： 51
Page： 122-130
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