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传统等离子体渗氮存在着渗氮时间长、渗氮不均匀等问题,因此提高等离子体渗氮效果和渗氮速率是等离子体渗氮技术发展的重点方向.本文综述了活性屏等离子体渗氮的技术原理和近年来的发展特点,梳理了多元离子共渗、表面自纳米化预处理和预氧化3种催化技术在传统等离子体渗氮过程中的作用机理和目前的发展现状.多种催化技术相结合的传统等离子体渗氮工艺和活性屏等离子体渗氮的催化工艺将是未来等离子体渗氮发展的重要方向.
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材料热处理学报
ISSN： 1009-6264
Year： 2023
Issue： 10
Volume： 44
Page： 1-9
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