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针对传统图形化工艺复杂且图形未经精细设计,导致电场分布不均匀的问题,通过ANSYS Maxwell 16.0仿真软件研究电子运动轨迹规律,提出图形化发射体阵列有效发射尺寸和最佳阵列间距阴极结构的新思路,改善场发射性能。仿真结果表明,当阵列间距为200μm时,图形化阵列中心区域的电场分布平坦,阵列四周突变上升。这是由于阵列边缘部分相比于阵列中心区域部分更表现出针尖的特性,当阵列间距越小时,单元阵列之间的边缘区域场强叠加,出现场强叠加区。当阵列间距逐渐增大时,场强边缘叠加效应削弱,同时电场屏蔽效应也削弱。因此,阵列边长越大,为400μm时,阴极表面场强趋于平坦,场强边缘叠加效应和电场屏蔽效应达到平...
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光子学报
ISSN: 1004-4213
CN: 61-1235/O4
Year: 2022
Issue: 05
Volume: 51
Page: 272-278
0 . 6
JCR@2022
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