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本发明公开了一种氧敏传感器的制备方法，其步骤为：(1)利用三氯化钛以及掺杂一定比例五氯化铌、五氯化钽为源物质；(2)采用溶胶-凝胶方法，添加过氧化氢强氧化剂和DBS表面包覆剂，在50℃-70℃水浴下搅拌直至形成凝胶，保温3-5小时；(3)用松油醇调制以上纳米粉体，均匀涂抹在附有刷式电极瓷管上；(4)将它置于马弗炉中，在380℃-450℃下1小时烧结之后，制备了TiO2基掺杂五氯化铌、五氯化钽纳米粉体，附上加热丝制成厚膜型气敏元件，电加热老化10天。本发明制备二氧化钛基纳米掺铌、钽的纳米半导体厚模型氧敏传感器，以实现低工作温度、高灵敏、响应快、高稳定性的氧气敏感特性，本发明与现有的氧敏粉体成分、制备方法及气敏元件的结构均不同。
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Type： 发明授权
Patent No.： CN02112887.1
Filing Date： 2002/4/14
Publication Date： 2005/3/30
Pub. No.： CN1195221C
公开国别： CN
Applicants： 福州大学
Legal Status： 未缴年费
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