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分别采用改进前后的溶胶一凝胶法制备WO3纳米材料,制作成直热式球形气敏元件,对低浓度的NO2气体进行测试。结果表明,改进后的溶胶一凝胶法制备的WO3材料,粒径小,表面疏松,对低浓度甚至极低浓度的NO2气体有很好的灵敏度,响应恢复时间很快,选择性好,而且所有元件都在较低的工作电压下有最高的灵敏度,说明工作温度低有利于降低功耗。
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计测技术
ISSN： 1674-5795
Year： 2006
Issue： B09
Volume： 26
Page： 50-53
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