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作为一种新兴的制造技术,嵌段共聚物定向自组装(DSA)有望用于超大规模集成电路通孔层制造.同时,冗余通孔插入被认为是提高产量的关键步骤.为了获得更好的可靠性和可制造性,本文同时考虑在布线后阶段考虑多冗余通孔插入的DSA引导槽分配.首先,通过分析引导槽的结构特性,提出了一种基于积木块的解表达方式.然后,遵循紧凑的解表达方式,本文为版图构造冲突图,然后将问题描述成整数线性规划.为了更好的平衡解的质量和运行时间,本文将整数线性规划松弛成一个无约束非线性规划问题.最后,本文提出了一种基于线搜索的优化迭代算法来求解无约束非线性规划.实验结果验证了本文的解表达方式的有效性和提出的算法的效率.
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闽南师范大学学报:自然科学版
ISSN： 2095-7122
Year： 2019
Issue： 1
Volume： 32
Page： 34-43
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