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从材料在软X射线波段的最新散射因子出发,根据软X射线多层膜结构设计原则,设计了在17~30 nm波段可能达到高反射率的Ti/Al软X射线光学多层膜,其结构参数为:调制周期9.25 nm,层厚比0.3,周期数20。
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Year： 2011
Language： Chinese
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