光学相干振动层析是一种兼有测量材料/结构内部结构特性和动力学性能的新技术。本文研究利用自行研制的光学相干振动层析系统评估和标定用于微振动控制的压电驱动器。该系统采用基于CCD的宽带光谱仪,光源采用低相干的白光。通过增加和减少施加在压电驱动器上的电压,使之发生纳米级的驱动位移变化,从而实现对压电驱动器的标定。试验结果表明,由光学相干振动层析系统测量得到的压电驱动器标定曲线具有较高的精度和重复性,该自研制的光学相干振动系统作为一种新的测试技术可以运用于压电驱动器的动态滞回性能的检测。该系统是非接触和非侵入式的无损检测技术,它可对压电驱动器实现实时在线标定,在精密仪器领域具有很广泛的应用前景。