Abstract：
论述硅的各向同性腐蚀与各向异性腐蚀的工作原理，提出硅膜厚度的控制方法．实验中得出异向腐蚀时的最佳温度为９５℃，腐蚀速率ｖ＝１μｍ／ｍｉｎ。
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福州大学学报(自然科学版)
ISSN： 1000-2243
CN： 35-1337/N
Year： 1995
Issue： 04
Page： 28-31
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