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介绍一种气动在线非接触式动态测量传感器及测量装置的动态特性,它能在恶劣环境下,加工中的旋转工件作非接触动态绝对尺寸测量,当测量范围达80μm时,其检测精度高于0.5μm,并能控制机床运行保证加工精度
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自动化仪表
Year： 1998
Issue： 01
Page： 23-27
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