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author:

杨文宇 (杨文宇.) [1] | 张国成 (张国成.) [2] | 崔宇 (崔宇.) [3] | 陈惠鹏 (陈惠鹏.) [4] (Scholars:陈惠鹏)

Indexed by:

CQVIP PKU CSCD

Abstract:

通过用喷墨打印制备的ZnO/IGZO异质结代替单层半导体沟道克服了氧化物缺陷导致的电子传输限制。ZnO/IGZO异质结晶体管表现出带状电子传输,迁移率比单层IGZO或ZnO TFT分别增大了约9倍和19倍,达到6.42 cm~2/(V·s)。开关比分别增大了2个和4个数量级,达到1.8×10~8。性能的显著改善源自于IGZO和ZnO异质界面间由于导带的大偏移量而形成的二维电子气。

Keyword:

二维电子气 喷墨打印 异质结 金属氧化物半导体

Community:

  • [ 1 ] 福州大学平板显示技术国家地方联合工程实验室
  • [ 2 ] 福建工程学院微电子技术研究中心
  • [ 3 ] 长春工程技术学院

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Source :

发光学报

ISSN: 1000-7032

CN: 22-1116/O4

Year: 2019

Issue: 04

Volume: 40

Page: 497-503

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