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在对单表面分流四边形电极结构二维PSD的非线性及失真进行理论分析的基础上[1],从理论上计算得到了这种结构PSD的位置修正因子,并提出了一种对这种结构PSD的位置非线性进行修正的方法.初步实验取得了非常满意的结果:经过修正后,在较大尺寸(13mm×13mm)器件上实现了60%光敏面范围内的位置非线性均方根误差0.15%,位置检测均方根误差从原来的±1010μm减小到±20μm.最大误差从±1500μm下降到±50μm.由于进行了归一化处理,该方法适用于这种结构不同尺寸的PSD,特别具有实用意义.
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仪器仪表学报
ISSN： 0254-3087
CN： 11-2179/TH
Year： 2002
Issue： 3
Volume： 23
Page： 268-270
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