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林伟 (林伟.) [1] (Scholars:林伟) | 黄世震 (黄世震.) [2] (Scholars:黄世震) | 陈文哲 (陈文哲.) [3]

Indexed by:

CQVIP PKU CSCD

Abstract:

采用射频反应磁控溅射方法制备掺杂多壁碳纳米管(MWCNTs)的snO2薄膜材料,并在此基础之上制作了N02气敏传感器,使用扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射仪(XRD)研究了SnO2/MWCNTs薄膜材料的表面形貌、物质组份材料特性,采用气敏元件测试系统来分析优越感的气敏效应,包括灵敏度、选择性、响应-恢复等特性,实验结果表明该气敏传感器对超低浓度(10ppb)NO2气体有很好的灵敏度,对干扰气体不敏感,提出了气敏机理解释实验现象.

Keyword:

NO2 SnO2/MWCNTs材料 射频反应磁控溅射 气敏元件

Community:

  • [ 1 ] [林伟]福州大学
  • [ 2 ] [黄世震]福州大学
  • [ 3 ] [陈文哲]福州大学

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Source :

传感技术学报

ISSN: 1004-1699

CN: 32-1322/TN

Year: 2009

Issue: 6

Volume: 22

Page: 771-775

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