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在TiAlN涂层中添加第四组元素以提高涂层的力学性能和热稳定性已成为目前刀具涂层的前沿领域.而在这些多元涂层中,Si能显著改进(Ti,Al)N涂层的抗氧化性、热稳定性和硬度,因而引起了研究人员的极大兴趣和关注.对TiAlSiN涂层的发展过程、Si在TiAlSiN涂层中的作用、TiAlSiN涂层的制备方法以及其发展趋势做了系统介绍.
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工具技术
ISSN： 1000-7008
CN： 51-1271/TH
Year： 2012
Issue： 2
Volume： 46
Page： 3-7
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