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对二自由度球形超声波电机来说，轨迹控制是输出性能的重要环节。对二自由度球形超声波电机进行了轨迹（路径）控制。首先以定子表面行波波峰点周向角速度的极小范数为优化目标，结合单个定子的调速和电机运行矢量原理作为电机运行模式的模型。为了实现球转子姿态的测量，采用了一种类似机械鼠标原理的球转子位置检测方法，再结合电机运行模式求出各个定子驱动电压的相位差，然后采用神经元PID算法来实现电机闭环轨迹控制。闭环控制下，电机转子运行时各个方向的误差控制在2个脉冲以内。
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振动与冲击
ISSN： 1000-3835
CN： 31-1316/TU
Year： 2014
Issue： 18
Page： 84-89,101
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