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黄健萌 (黄健萌.) [1] (Scholars:黄健萌) | 陈英 (陈英.) [2]

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将磁致伸缩效应等效为材料的热膨胀效应,考虑微梁末端与底座粗糙面微凸体间的相互作用、材料弹塑性变形及微梁弹性恢复力等影响,利用ABAQUS动态模拟了磁致伸缩薄膜悬臂梁末端与底座粗糙面间的接触,分析了不同长度悬臂梁对接触特性的影响.结果表明,重复加卸载过程中,接触面积、法向接触力随着微梁长度的增加呈近似线性增长,而最大等效塑性应变值随微梁长度的增加呈非线性关系,说明微梁长度对梁与底座粗糙面间接触特性的影响十分重要,进而影响到系统工作的可靠性.

Keyword:

MEMS器件 微梁长度 接触特性 磁致伸缩薄膜微悬臂梁 粗糙面

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  • [ 1 ] [黄健萌]福州大学
  • [ 2 ] [陈英]福州大学

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Source :

机械制造与自动化

ISSN: 1671-5276

CN: 32-1643/TH

Year: 2017

Issue: 6

Volume: 46

Page: 20-24

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