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利用时域有限差分法,仿真设计了三组具有不同中心频率的十字形太赫兹带通滤波器,并搭建了飞秒激光微加工系统,在单层铝箔上实现了无衬底太赫兹滤波器的加工.利用时域太赫兹光谱系统,对所加工的器件进行了透射率测试,实验和仿真结果高度吻合,所加工的太赫兹滤波器中心频率处的透射率为85％以上,达到商业化太赫兹滤波器水平.
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激光与光电子学进展
ISSN： 1006-4125
CN： 31-1690/TN
Year： 2018
Issue： 2
Volume： 55
Page： 360-365
0 . 9 0 0
JCR@2023
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